GUL15礦用本安型雷達物位傳感器體硅工藝是指沿硅襯底厚度方向刻蝕硅襯底的工藝，包括濕法刻蝕和干法刻蝕。它是實現(xiàn)三維結構的一種重要方法。為了形成完整的微結構，通常在加工的基礎上采用鍵合或鍵合技術，將硅鍵合技術與體硅加工方法相結合。硅的微結構是通過多重掩模、單面或雙面光刻和各向異性蝕刻形成的，然后將相關零件確對齊并粘合成一個整體。體硅加工工藝比硅表面加工工藝復雜，體積大，成本高。

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